MEMS je zkratka pro mikromotorový systém. Individuální miniaturizační velikost hotového výrobku je na úrovni milimetrů nebo dokonce mikronů. Je široce používán v 5G komunikaci, bezpečnostním monitorování, průmyslové automatizaci, automobilové elektronice a dalších oborech. V této fázi lze říci, že téměř všechny elektronické produkty jsou aplikovány na MEMS.
Výhody MEMS zařízení: malé rozměry, nízká hmotnost, snadná integrace, nízká spotřeba, vysoká citlivost a mnoho dalších výhod. A dá se vyrábět sériově. Přestože se může vyrábět sériově, obaly MEMS nejsou univerzální. Podle různých funkčních typů součástí MEMS se struktura součástí a způsoby balení liší a vyhrazený typ je vyšší.
V této fázi se běžně používá technologie montáže na úrovni třísek. Přirozeně existují poměrně přísné požadavky na přesnost montáže, provozní prostředí a metody vyrovnání.
Obtíže montáže na úrovni čipu MEMS
1. Vysoký standard přesnosti balení
Software systému MEMS obsahuje unikátní rozhraní datového signálu, pouzdro, vnitřní stěnu a další konstrukce, které zvyšují obtížnost řízení polohy a úhlu při vychystávání a umístění během celého procesu drátového spojování MEMS komponent a multifunkčních substrátů.
2. Materiál je křehký a snadno se rozbije
Zařízení MEMS, jako jsou mikroakcelerometry, mikromotory atd., mají obecně zabudované mechanické struktury, jako jsou dutiny nebo konzoly. Tyto struktury jsou malé velikosti a mají mnohem menší mechanickou pevnost než čipy IC. Jsou velmi citlivé na fyzický kontakt během montáže a jiných procesů.
Mnoho částí zařízení MEMS je nejen malých rozměrů, ale také křehkých a křehkých, jako jsou hluboké drážky a sektory, takže pracovní tlak aplikovaný při lepení je velmi důležitý. Pokud je pracovní tlak příliš malý, spojení nebude těsné; pokud je pracovní tlak příliš vysoký, komponenty se poškodí.
Je vidět, že přesné úrovně přesnosti a vazebné amplitudy jsou nezbytnými podmínkami pro zlepšení rychlosti průchodu instalací radiofrekvenčního transceiveru MEMS.
Když je tloušťka zařízení MEMS mezi 50-150μm, zvolený pracovní tlak pro spojování drátů je mezi 50-100g a rotační posuv by měl být menší než 0,3°, aby bylo možné do značné míry omezit poškození součástí. a soulad lze zlepšit. Hodnotit.
Vysoce přesné zarovnání, typ záplaty pro zajištění rychlosti průchodu
Zpětná vazba na úrovni mikronů pro získání přesných datových informací, přesnost ovládání síly ±0,01N, úroveň přesnosti lineární opakovatelnosti ±2μm, úroveň přesnosti opakovatelnosti otáčení ±0,01°, radiální výchylka menší než 10μm, specifikace rozlišení kodéru 1μm, k dispozici ve stabilním výstupu i při vysokých -rychlost provozu, zlepšení kvalifikace a stability.
Vakuové sání, regulovatelný pracovní tlak, snížení spotřeby
Lineární rotační motor Guoao využívá dutou konstrukci osy Z, vyhrazenou tracheální zásuvku, vakuové sání, plug and play a může poskytovat přizpůsobené služby založené na struktuře a vlastnostech komponent;
Obsahuje"soft landing" funkce, která může dokončit stabilní kontrolu síly v rozmezí ±1,5 g a může přizpůsobit parametry, jako je rychlost, zrychlení a ovládání síly, takže umísťovací hlava se může dotknout komponent MEMS velmi přesným pracovním tlakem, což snižuje vyčerpání.
& quot;Z+R" integrovaný design osy pro zvýšení rychlosti
Inovativní dvouosé integrované řešení kombinuje tradiční"servomotor + kuličkový šroub" do jednoho, který dobře zvládne problém zatížení vlastní tíhou osy Z, a kompletní komponent Pick& Umístění, umístění a další akce vysokou rychlostí a přesností. Tah Křivka je hladká, špičkový tah je 8-50 N, efektivní zdvih je 10-50 mm a extrémně dlouhá životnost umožňuje efektivní výrobu.
